我廠生產(chǎn)的高溫退火爐，結(jié)構(gòu)合理、操作維護(hù)方便;爐子隔熱、保溫性能良好，熱效率高、節(jié)能顯明;升溫快、爐溫均勻、穩(wěn)定性好;工作室氣密性能好，處理工件達(dá)到了無氧化、不脫碳的成果;自動化程度高、功能全、測控準(zhǔn)確、精度高;保護(hù)安全生產(chǎn)的設(shè)施完善、報(bào)警功能全，生產(chǎn)安全;噪聲小、沒損害氣體、無粉塵污染環(huán)境，工作條件好。我廠所生產(chǎn)的退火爐設(shè)備在出廠前均會進(jìn)行檢測，合格后方可投入市場。

　　該高溫退火爐主要由真空系統(tǒng)、高溫加熱系統(tǒng)、磁體系統(tǒng)和冷卻系統(tǒng)4部分組成。

　　1、真空系統(tǒng)：

　　真空系統(tǒng)采用TRP-12直聯(lián)機(jī)械真空泵與F110渦輪分子泵兩級串聯(lián)，室溫下本底真空度可達(dá)到5×10-5Pa。

　　2、高溫加熱系統(tǒng)：

　　高溫退火爐采用鉑絲發(fā)熱體，單鉑銠熱電偶測溫。樣品臺、發(fā)熱體以及熱電偶置于雙層陶瓷保溫層之中，可以保障爐體中心達(dá)到較高的溫度，并能實(shí)現(xiàn)溫度的速度上升。樣品臺是由鋼制成的15mm×45mm×100mm長方體容器，可達(dá)到常規(guī)薄膜樣品的退火要求。鉑絲發(fā)熱體均勻纏繞在長方體容器周圍，熱電偶置于長方體容器的上方，可保障測溫的準(zhǔn)確性?？販夭糠掷肍P93可編程PID調(diào)節(jié)器，配用PACI5P-01A單相晶閘管移相觸發(fā)板，可以實(shí)現(xiàn)4段編程，每段10步，可以達(dá)到復(fù)雜退火條件的設(shè)置要求。

　　3、磁體部分：

　　磁場采用固定雙線圈及全波∏型整流，通過調(diào)壓、調(diào)流方式控制磁場強(qiáng)度，磁場線圈電流由數(shù)顯5位直流電流表顯示。長時間使用時，較大磁場強(qiáng)度為500奧斯特，短時間使用之時磁場強(qiáng)度可達(dá)900奧斯特。

　　4、冷卻部分：

　　高溫退火爐的冷卻部分使用水冷和風(fēng)冷相結(jié)合的方式，當(dāng)爐內(nèi)溫度高于40℃或磁場電流大于2.5A時，可通入冷卻水冷卻。