?、贌嵩磁c強(qiáng)度反應(yīng)腔體∶由加熱系統(tǒng)、石英腔體與石英托片架、爐門機(jī)構(gòu)等組成，加熱系統(tǒng)采用燈管輻射、分區(qū)加熱與控制方式。石英腔體與反應(yīng)腔體的前后金屬法蘭構(gòu)成密閉的反應(yīng)室，石英托片架安裝在反應(yīng)室內(nèi)，硅片工藝處理時(shí)被機(jī)械手安放在托片架三個(gè)頂針上。
②硅片傳送系統(tǒng)∶由精度較高的工業(yè)機(jī)械手、冷卻臺(tái)、裝/卸片臺(tái)等組成。為越佳的控制系統(tǒng)內(nèi)部的顆粒，在硅片傳送區(qū)域區(qū)配置效率較高的過(guò)濾器。
③溫度測(cè)量系統(tǒng)∶臺(tái)車退火爐中的該系統(tǒng)采用了兩個(gè)高溫計(jì)測(cè)量，其中一個(gè)測(cè)量硅片的溫度，一個(gè)測(cè)量環(huán)境溫度。
④工藝氣體系統(tǒng)∶采用精度較高的數(shù)字質(zhì)量流量計(jì)，可以正確的控制工藝氣體的流量，同時(shí)配置多路可選擇的工藝氣體，增加工藝的靈活性。
?、堇鋮s系統(tǒng)∶包括水冷系統(tǒng)和氣冷系統(tǒng)兩個(gè)部分。
?、逇鈩?dòng)系統(tǒng)∶由氣動(dòng)閥、電磁閥及流量開關(guān)等組成。為驅(qū)動(dòng)汽缸、閥門等提供氣源。
⑦控制系統(tǒng)∶采用一臺(tái)工業(yè)控制PC作為控制器，實(shí)現(xiàn)快捷退火系統(tǒng)各部分功能及工藝過(guò)程的全自動(dòng)控制?？刂栖浖到y(tǒng)具有簡(jiǎn)潔的工藝監(jiān)測(cè)、編輯系統(tǒng)維護(hù)界面、下拉菜單功能、友好的圖形用戶界面。該臺(tái)車退火爐系統(tǒng)具備實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)采集、狀態(tài)參數(shù)顯示、系統(tǒng)故障自診斷及故障報(bào)警等功能。
版權(quán)所有：臨朐昱華熱處理設(shè)備廠
手機(jī)版
